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全自動撕金機4″~6″

單機現況售價:請來電洽詢

廠牌:里德科技
型號: FS-FML-T4-4″-6″
尺寸:155*115*190
年分:2011
數量:1
備註:

  • 經由自行設定調節馬達的轉速,可控制Chuck盤面作動快慢的時間來達到生產要求的產能。以一次取放片來回撕金的時間為例:
    4吋晶圓片(6片)為例,每次約需時 ≦ 1分30秒。
    6吋晶圓片(2片)為例,每次約需時 ≦ 30秒。
  • 可選擇4吋&6吋共用型Chuck皿設備,設定作動Chuck盤面的作動次數,以達到晶片的乾淨要求程度。
  • 應用於前製程晶圓片在經由蒸鍍塗佈之後,晶圓片的表面將會產生一層的金屬薄膜,再利用此設備將晶圓片表面所鍍的金屬與晶圓片做撥離的動作。
  • 單相 220V
  • 空氣壓力及流量 : 約 4~6 Kg/cm² at least,50 L/Min avg.
  • 可放置2個晶舟, 4吋晶舟,一個可放置25片, 6吋晶舟,一個可放置13片