- 經由自行設定調節馬達的轉速,可控制Chuck盤面作動快慢的時間來達到生產要求的產能。以一次取放片來回撕金的時間為例:
4吋晶圓片(6片)為例,每次約需時 ≦ 1分30秒。
6吋晶圓片(2片)為例,每次約需時 ≦ 30秒。 - 可選擇4吋&6吋共用型Chuck皿設備,設定作動Chuck盤面的作動次數,以達到晶片的乾淨要求程度。
- 應用於前製程晶圓片在經由蒸鍍塗佈之後,晶圓片的表面將會產生一層的金屬薄膜,再利用此設備將晶圓片表面所鍍的金屬與晶圓片做撥離的動作。
- 單相 220V
- 空氣壓力及流量 : 約 4~6 Kg/cm² at least,50 L/Min avg.
- 可放置2個晶舟, 4吋晶舟,一個可放置25片, 6吋晶舟,一個可放置13片